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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

１．在G1?G2接觸子間放入微動(dòng)臺(tái)。

２．先移動(dòng)G1接觸子、控制部指示値為行程量的一半時(shí)，（－210～－220μｍ）固定接觸子。

３．然后移動(dòng)G2接觸子、控制部指示値為０μｍ時(shí)固定接觸子。

４．微動(dòng)臺(tái)朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、確認(rèn)控制部 指示値。

５．微動(dòng)臺(tái)至進(jìn)給原位置（零位置）、確認(rèn)控制部 指示値為0μm〔注１〕。

６．微動(dòng)臺(tái)在進(jìn)給方向進(jìn)給100μm(＋100μm)、確認(rèn)控制部指示値。

 ７．微動(dòng)臺(tái)回到原位置（零位置）、確認(rèn)控制部指示値為0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過1.5μm時(shí)需再調(diào)整、重復(fù)[１．]～[８．]的作業(yè)。不超過時(shí)進(jìn)行接下來的檢查。

〔注１〕 微動(dòng)臺(tái)在原位置（零位置）時(shí)、控制部指示値不為0μm時(shí)、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔４．〕～〔６．〕的作業(yè)。

　※ 為減少演算誤差需進(jìn)行絞合線單體感度測量（別紙）。